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行業(yè)新聞
國機集團(tuán)研制國內(nèi)首臺全自動龍門式12英吋砂輪劃片機
發(fā)布人:蓬萊力達(dá)砂輪有限公司 來源:本站整理 發(fā)布時間:2013-12-11

 近日,中國機械工業(yè)集團(tuán)公司(簡稱國機集團(tuán))所屬沈陽儀表院 “12英寸IC專用芯片劃片工藝裝備研制”通過了科技成果鑒定。

項目研制出了國內(nèi)首臺全自動、龍門式12英吋砂輪劃片機。最高累積步進(jìn)精度可達(dá)2μm/310mm,主軸最高轉(zhuǎn)速41000r/min。

申請國家發(fā)明專利3項以上,實用新型專利4項以上,取得了一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的研究成果,填補了國內(nèi)空白,整體技術(shù)水平達(dá)到國際先進(jìn)水平,形成了相應(yīng)技術(shù)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。

項目的研發(fā)成功為提升我國IC(集成電路)裝備的技術(shù)水平檔次、提高國內(nèi)外市場的競爭力和市場占有率,滿足我國IC裝備需求將起到重要的推進(jìn)作用。


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