近日,中國機械工業(yè)集團(tuán)公司(簡稱國機集團(tuán))所屬沈陽儀表院 “12英寸IC專用芯片劃片工藝裝備研制”通過了科技成果鑒定。
項目研制出了國內(nèi)首臺全自動、龍門式12英吋砂輪劃片機。最高累積步進(jìn)精度可達(dá)2μm/310mm,主軸最高轉(zhuǎn)速41000r/min。
申請國家發(fā)明專利3項以上,實用新型專利4項以上,取得了一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的研究成果,填補了國內(nèi)空白,整體技術(shù)水平達(dá)到國際先進(jìn)水平,形成了相應(yīng)技術(shù)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。
項目的研發(fā)成功為提升我國IC(集成電路)裝備的技術(shù)水平檔次、提高國內(nèi)外市場的競爭力和市場占有率,滿足我國IC裝備需求將起到重要的推進(jìn)作用。